第187章 考察日(4/7)
设备是死的,人是活的。”
她走到控制台前,调出一张温度场分布云图。
“您看看这个。
这是我们改造后的热场实测数据。”
王研究员凑近屏幕。
“径向温度梯度。
正负0.
3度?
!”
他摘下防静电帽,用力揉了揉眼睛。
“这不可能!
莱茵科技的最新型号也做不到这个精度!”
“我们做到了。”周德明从车间里走出来,手里拿着一个黑色的恒温箱。
他把恒温箱放在走廊的桌子上。
打开。
里面静静地躺着一片六英寸的碳化硅晶圆。
通体透明。
没有一丝杂色。
在走廊的冷光灯下,散发着一种近乎完美的光泽。
“这是我们昨天刚切出来的一批晶圆中的一片。”周德明干巴巴地说,“国家级半导体材料检测中心的报告昨天也出了。
微管缺陷率小于0.
1个/平方厘米。”
王研究员颤抖着手,从口袋里掏出一个便携式高倍放大镜。
他凑近那片晶圆。
他摘下眼镜。
拿出一块眼镜布,仔仔细细地擦了擦镜片。
“我干了三十年半导体设备研究。”王研究员的声音有些沙哑,“我一直以为,我们在第三代半导体材料上,至少落后国外十年。”
他重新戴上眼镜。
看着那片晶圆。
“我以为我这辈子看不到了。”
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